Brand:
直接液體注入蒸發系統
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直接液體注入蒸發系統
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Direct Liquid Injection System
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布魯克斯直接液體注入蒸發器是使用高溫氣體而不是加熱金屬表面來達成液體的氣化。 當液體進入充滿熱氣的蒸發器內後即被介質氣體霧化。 一旦霧化後的液體接觸熱氣體，它會立即改變成為蒸氣，結果會得到化學純化的蒸氣，而無任何分解的副產品或液體的殘留。 此外，布魯克斯直接液體注射液蒸發器可以接受多種液體的注入，並會產生完美的混合氣體。 布魯克斯提供多種熱交換器以符合各種不同的液體特性：如極低的蒸氣壓力（如1 torr）或非常低的流量（每小時5克）以及非常高的流量（超過 15公斤/小時）。 不像傳統使用氣泡式或熱金屬表面的氣化器，布魯克斯的直接液體注入蒸發器是具備高效能的液體氣化蒸發器。
布魯克斯直接液體注入蒸發器幾近是一個真正的＂蒸氣量隨選＂系統，因為藉由透過增加，減少或停止不可壓縮液體的流量將迅速達到需要改變的蒸氣流量。
布魯克斯的直接液體注入氣化器的氣化技術可克服傳統技術的諸多限制。 Bubblers, or vapor draw systems,需要非常接近的溫度和壓力控制才能啟動和停止，並且無法有效率地控制良好的蒸汽質量流量。Vaporizing valves, hot frit, heat tracing, and other "flash vaporizers"等使用熱金屬盤面對液體前驅物加熱，這對於產生蒸氣質量是沒有效率的且會導致液體前驅物的熱分解問題,這些傳統技術設備都無法有效解決夾帶液體及伴隨而來的潛在問題,圖片1和2顯示使用傳統設備因未完全氣化而導致CVD沉積槽壓力震盪不穩定的問題.
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Brand :
BROOKS
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