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類比式氣體流量控制器


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類比式質量流量測計與控制器
5964
布魯克斯型號5964超高潔淨金屬密封熱質式流量控制器提供了最先進的氣體流量控制與量測的性能。它結合了出色的金屬密封洩漏完整性,超潔淨的內部表面抛光(平均5Ra)提供無微粒的環境並增強了快速反應製程應用的能力。
 
Brand : BROOKS
   

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金屬密封質量流量控制器,3 - 30,000 sccm
5850EM
布魯克斯型號5850EM金屬密封熱質式流量控制器在超潔淨環境3 - 30,000 sccm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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金屬密封質量流量控制器,10 - 100 slpm
5851EM
布魯克斯型號5851EM金屬密封熱質式流量控制器在超潔淨環境10 - 100 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,3 - 30,000 sccm
5850E
布魯克斯型號5850E彈性體密封熱質式流量控制器在3 – 30,000 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,10 - 100 slpm
5851E
布魯克斯型號5851E彈性體密封熱質式流量控制器在10 – 100 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,100 - 1000 slpm
5853E
布魯克斯型號5853E彈性體密封熱質式流量控制器在100 – 1,000 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,3 - 30,000 sccm
5860E
布魯克斯型號5860E彈性體密封熱質式流量量測器在3 – 30,000 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,10 - 100 slpm
5861E
布魯克斯型號5861E彈性體密封熱質式流量量測器在10 – 100 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,100 - 1000 slpm
5863E
布魯克斯型號5863E彈性體密封熱質式流量量測器在100 – 1,000 slpm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   

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彈性體密封質量流量控制器,3 - 30,000 sccm時
5850i
布魯克斯型號5850i熱質式流量控制器在3 - 30,000 sccm(氮氣為標準)的範圍內能精確測量和控制氣體流量。 即使是在不同的製程條件下,布魯克斯極穩定的流量感應器也能提供可靠、可重複與精確的流量測量。 它可以提供穩定的流量而不再需要連續監測或不斷調整氣體的壓力。
 
Brand : BROOKS
   
 


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