Brand:
數位式氣體流量控制器 (金屬密封)
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數位式金屬密封質量流量計/控制器
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GF 100/120/125 Series
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GF 100/120/125 Series流量計為布魯克斯最新款之數位熱質式氣體流量控制器，目前巳廣泛使用在光電，半導體等領域的設備上。
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Brand :
BROOKS
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數位式金屬密封質量流量計/控制器
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GF 40/80
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GF40/GF80系列
GF40/GF80系列是專為太陽能薄膜製程,化學氣象沉積,真空製程,
生物反應器等設計的一款質量流量控制器,
1.油封或金屬封合的選用
2.反應時間在1秒內
3.內部sensor管路採用抗腐蝕哈式合金材質
4.可隨時透過軟體更改成任何氣體及流量,減少庫存
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Brand :
BROOKS
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數位式金屬密封質量流量計/控制器
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SLA7900 Series
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布魯克斯型號 SLA7900系列的UHP數位熱質式質量流量計與控制器在操作上提供了無與倫比的彈性與效能，其設計能符合最新的1-1/8“平台標準。SLA7900系列結合了TruCal氣體校準系統卓越的精確度與布魯克斯獨家的控制演算法。 布魯克斯全新改良式金屬密封共面閥提供了更好的控制，因為它的設計更加容許製程的變化因子。
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Brand :
BROOKS
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數位式金屬密封質量流量計/控制器
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SLA7800 Series
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布魯克斯型號 SLA7800系列的UHP數位熱質式質量流量計與控制器在操作上提供了無與倫比的彈性與效能，其設計能符合最新的1-1/8“平台標準。SLA7800系列結合了TruCal氣體校準系統卓越的精確度與布魯克斯獨家的控制演算法。 布魯克斯全新改良式金屬密封共面閥為產品提供了更好的控制，因為它的設計更加容許製程的變化因子。
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Brand :
BROOKS
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