Brand :
BROOKS
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GF 100/120/125 Series的設計是可以提供長期可靠及嵌入式的診斷與自動校正(歸零)的功能以減少維修保養成本。 該產品特色包括:
- 高度潔淨的機體結構搭配縮減接觸面積的設計,在使用氣體清潔之後可快速清除死角加速乾燥
- 氣流通道管路表面高潔淨度處理
- 表面平均粗糙度達到每英寸10μ
- 獨立維護與診斷的連接埠提供在機台上第一時間疑難排解且確認製程過程與優化
- 智慧型LCD液晶瑩幕可顯示流量(%)和溫度(℃)
- 可選擇類比與RS-485,類比0–5 VDC與數位DeviceNet™ 的通訊介面
- 可依據使用者需求,設定需要的流體和流量
  
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