產品特色

傑出的性能

- 功率操作範圍大 - 可並聯操作和同步的脈衝輸出 - 輸出頻率可調整（20〜150kHz） - 脈衝波形寬度可調整

高可靠性

- 非常穩定的訊號輸出 - 採用32位元數位訊號處理器 - 符合SEMI-F47電壓瞬降測試 - 低干擾和噪音 - 低輸出漣波及系統能量

穩定的電弧控制

- 最低電弧能量（< 1mJ/kW） - 迅速改變阻抗 - 低輸出漣波及貯存能量

使用優勢

- 容易與製程系統整合 - 親和力的操作介面 - 高生產產能 - 低生產成本

應用

- PECVD工藝 - 脈衝偏壓

規格

規 項目 艾納佩茲 5 艾納佩茲 10 輸入電壓 3Φ, 220/380Vac, 50-60Hz 輸出功率 5kW 10kW 輸出電壓 800V 輸出電流 12.5A 25A 調整模式 電壓 /功率/電流 脈衝波形 二極非對稱式 脈衝頻率 20〜150kHz的（選購：可升級至 300kHz） 反向電壓 輸出電壓的10％ 反向時間 直流模式，1.5〜7us 脈衝功率（在80％的負荷） 6.25A(1000V) ~ 12.5A(500V) 12.5A(1000V) ~ 25A(500V) 控制模式 Host, Remote, Local 電弧能量 Less than 1mJ/ kW 環境溫度 + 5℃ ~ + 40℃ 冷卻方式 風冷 尺寸（mm) 133(H) X 483(W) X 600(D) 重量(kg) 26.5 29.5