產品特色 |
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傑出的性能 |
- 非常大的功率操作範圍 (在23:1的阻抗範圍內可全功率輸出)
- 可並聯操作
- 可程式控制電源輸出模式(電壓,電流,功率) |
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高可靠性 |
- 非常穩定的訊號輸出
- 採用32位元數位訊號處理器
- 符合SEMI-F47電壓瞬降測試
- 低干擾和噪音
- 低輸出漣波及系統能量
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高度可靠的電弧控制 |
- 非常低的電弧能量(< 1mJ/1kW)
- 迅速改變阻抗
- 可抑制不正常放電現象(脈衝)
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使用優勢 |
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- 容易與製程系統整合
- 親和力的操作介面
- 高生產產能
- 低生產成本
- 小巧型尺寸和重量
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應用 |
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-硬化膜鍍偏壓
-類鑽碳鍍膜偏壓
-裝飾鍍膜表面清潔偏壓
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