產品特色

穩定的電弧控制

- 非常低的電弧能量　(＜1mJ/kW) - 迅速改變電阻 - 低輸出漣波及貯存能量

高可靠性

- 非常穩定的訊號輸出 - 採用32位元數位訊號處理器 - 低干擾及噪音 - 符合SEMI-F47電壓瞬降測試

使用優勢

- 容易與製程系統整合 - 親和力的操作介面 - 高生產產能 - 低生產成本

應用

- 離子束輔助鍍膜 - 離子束鍍膜 - 陽極接合

規格

項目 佛特艾-201 佛特艾-302 輸入電壓 3Φ, 220/380Vac, 50-60Hz 輸出功率 2kW 6kW 輸出電壓 1000V 3000V 輸出電流 1000mA 2000mA 調整模式 電壓/ 功率 / 電流 控制模式 Host, Remote, Local 電弧能量 Less than 1mJ/ 1kW 電弧控制 Shutdown Time, Arc Level 環境溫度 + 5℃ ~ + 40℃ 冷卻方式 風冷 尺寸(mm) 133(H) X 483(W) X 565(D) 重量(kg) 26.0 29.0