產品特色

傑出的性能

- -          類脈衝波形輸出 -          功率操作範圍大 -          可並聯操作 -          輸出頻率可調整 (10~60 KHZ) -          脈衝波形寬度可調整 -          高效能功率輸出 & 瞬間功率輸出的性能 -          與電弧噴射槍匹配有最佳的電弧下垂特性

高可靠性

-          非常穩定的訊號輸出 -          採用32位元數位訊號處理器 -          符合SEMI-F47電壓瞬降測試 -          低干擾及噪音 -          低輸出漣波及系統能量

優勢

-          容易與製程系統整合 -          親和力的操作介面 -          高生產產能及低生產成本 -          採用強制氣流冷卻 -          可客製化

應用

- 平面顯示器 (LCD) - 印刷電路板 (PCB) - 表面清潔、表面活化、光阻灰化及乾式蝕刻製程 - 電漿強化化學氣相沉積

規格

項目 吉尼爾斯 2 吉尼爾斯 6 吉尼爾斯 10 輸入電壓 3Ø, 220Vac, 50-60Hz 平均輸出功率 2kW 6kW 10kW 峰值輸出電壓 6kVA 18kVA 30kVA 輸出電壓 Max. 15kV 輸出頻率 10~60kHz 調整模式 電壓 / 功率 輸出波形 Quasi-Pulse 控制模式 Host, Remote, Local 冷卻方式 風冷 尺寸(mm) 178(H) X 483(W) X 600(D) 重量 (kg) 25 30 35